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一、FESTO真空傳感器的工作原理

       FESTO真空傳感器的工作原理是介質的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發生變化，和用電子線路檢測這一變化，並轉換輸出一個對應於這個壓力的標準信號。

1、FESTO真空傳感器的原理

       壓阻式FESTO真空傳感器的測量部件是一個裝有固態壓力芯片，該芯片利用半導體材料的壓阻效應，在特定晶麵上，采用集成電路工藝技術擴散成四個等值電阻，組成一個惠斯登電橋，使得形變與橋阻變化形成一一對應關係，當壓力變化時，電橋失去平衡，輸出一個與壓力成正比的電信號，再由感應智能芯片進行非線性修正和溫度補償，最終輸出與壓力成線性對應關係的標準信號。

       壓阻式FESTO真空傳感器的測量部件是一個裝有固態壓力芯片，該芯片利用半導體材料的壓阻效應，在特定晶麵上，采用集成電路工藝技術擴散成四個等值電阻，組成一個惠斯登電橋，使得形變與橋阻變化形成一一對應關係，當壓力變化時，電橋失去平衡，輸出一個與壓力成正比的電信號，再由感應智能芯片進行非線性修正和溫度補償，最終輸出與壓力成線性對應關係的標準信號。原理圖如圖2 所示。

2、FESTO真空傳感器的理論函數

       壓阻式FESTO真空傳感器是壓力變送器的一種，是將需要測量的真空變量轉換為可輸出的標準信號，輸出信號與真空變量之間有一定的函數關係，主要用於測量過程中真空參數的測量與控製 [2]  。典型的二線製壓阻式FESTO真空傳感器的測量範圍0 ～ 100 kPa、工作電壓為12 ～ 36 V，工作電流為4 ～ 20 mA 的標準信號輸出，采用V /I 轉換電路且零位可自由遷移。壓阻式FESTO真空傳感器輸出信號和真空度的函數關係式如公式( 1) ：I = 4 + ( 20 - 4) P' ( 1)式中： P'為某一真空狀態下的示值，kPa； P 為傳感器的滿量程值，kPa； I 為P'真空狀態下對應的輸出電流值，mA。

       通過公式( 1) 可以得出某一FESTO真空傳感器在測量範圍內任意真空度對應的理論電流輸出值，為其準確信號輸出提供參考。

       在對FESTO真空傳感器校準時，由於測量誤差是按照測量準確度等級劃分的，典型的壓阻式FESTO真空傳感器測量誤差和準確度間的函數關係如公式( 2) ：△A = ( 20 － 4) δP ( 2)式中： △A 為測量誤差的上下限值； P 為此傳感器的滿量程值，kPa； δ 為某一FESTO真空傳感器標注的準確度等級。

       準確度等級是傳感器的主要技術指標，是一個定性的概念，通過公式( 2) 可以換算出FESTO真空傳感器在某一準確度等級下的測量允許誤差限，可以判斷FESTO真空傳感器標注的準確度等級是否正確，

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